MEMS 微振镜模组
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指标参数三方向扫频抗振动 >15G (20~2000Hz)储存温度 -40°C ~ +140°C光学扫描角度 (VxH) ±15° x ±15°双轴工况驱动电压/功耗 35V/1W @ 25°C工作温度 -40°C ~ +130°C工况方向抗冲击 >1000G快轴模式 760Hz (±25Hz)慢轴模式 1-100Hz / 支持准静态扫描模组外尺寸 (长*宽*高) 43*22.3*13mm金镜面反射率 >98% (905nm)镜面尺寸 Ø8mm
